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溅射薄膜式压力传感器的原理与特点介绍

来源:未知    发布时间:2022-01-21 14:28    点击量:    文章来源:南京默茂电子科技有限公司
        溅射薄膜式压力传感器是一种结合半导体技术综合而成的高质量产品,其在行业应用方面比传统的产品更加具备优势。本篇主要介绍了它的工作原理与特点,希望可以帮助到各位。

        一、溅射薄膜式压力传感器的工作原理

        当被测介质压力(P1)作用于弹性不锈钢膜片一侧时,弹性膜片受到压力作用产生变形,位于另一面的惠斯顿电桥桥臂电阻薄膜的几何尺寸发生相应的变形,阻值随之相应改变,电桥因阻值改变而产生与压力成线性比例的输出信号,将此信号经放大调节等处理,再传输给处理电路(通常是A/D转换和CPU)显示或执行机构。


 

        二、溅射薄膜式压力传感器的特点

        1、溅射膜压力传感器长期稳定性好、工作温度宽、精度高、重复性好, 由于绝缘膜和基底、敏感膜与绝缘膜之间是直接在高真空环境内淀积在一起,各薄膜层间是原子力的结合,消除了粘贴胶带来的蠕变影响,同时敏感膜在高真空环境内得到二氧化硅保护膜保护,故特点是精度高、重复性好、长期稳定性好,工作温度宽(通过不同的设计可以达到耐温-200℃∽400℃的压力敏感芯体)。可长期在高温高压下工作。
        2、 溅射膜压力传感器耐高强度震动和冲击、不泄漏、耐腐蚀,由于薄膜压力传感器是通过激光焊接或等离子焊接的办法将敏感芯体和不锈钢压力接嘴焊接成一个整体,因此溅射薄膜压力传感器没有任何“O”型橡胶密封圈,也没有充硅油,压力介质直接作用在耐蚀不锈钢敏感芯体上,产品经得起高强度的震动和冲击,绝无泄漏的危险。
        3、溅射膜压力传感器温度特性好,薄膜压力传感器由于采用半导体工艺技术和激光调阻技术,利用电桥自补偿特性,在-200℃∽400℃全温区范围内温漂小于0.02%/℃。
        4、溅射膜压力传感器测量真实、频响高 ,由于压力介质直接作用在耐蚀不锈钢敏感芯体上,无隔离膜和充灌液,因此测量真实、频响高。通过设计频响可达20KHZ以上。


        综合上述介绍来看,溅射薄膜式压力传感器的产品优势非常明显,在很多地方都具备应用价值。
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